江苏大峰净化科技有限公司

     无尘洁净度级别等于或高于100级(209E)的无尘室的高效过滤器，安装前必须做现场检漏，重点是检查过滤器有无破损泄漏等自身质量。所有级别的洁净室，都要求对其安装好的过滤器做检漏，在现行规范没有给出检查数量时，可以自定一个比例。安装检漏的重点足过滤器边标帘封质量。

     今天小编跟大家一起探讨无尘室对高效过滤器的测试与要求。准确检测高效过滤器的质量，以避免高效过滤器泄漏，影响生产。方法：用尘埃粒子计数嚣检测高效过滤器是否有泄漏现象。结果：检测各点的悬浮粒子若超出洁净区要求的范围则有泄漏现象，需堵漏或更换。实验方法

高效过滤器测试要求：

1、 环境条件：温度控製在18—26℃ ；相对湿度控製在45—65％
2、 测试状态：静态测试，室内测试人员不得多於2人。
3、压差：针对室内不同洁净度房间而言，静压差 5Pa，洁净区与非无尘室区之问静压差 10Pa；对工艺过程中产尘量大的房间与其他房间应保持相对负压。

高效过滤器测试方法

1、 将尘埃粒子计数器用注射用水及75％酒精擦试消毒后再经紫外线照射30分钟传入洁净区。

2、 将尘埃粒子计数器水平位置放在桌上。测量塑料管端口接插在过滤器的接嘴上。

3、打开电源。仪器进行tl检、选项后，把测量塑料管从后麵板上拔下。端口放置在需要测量的位置

4、 检测时采样头离高效过滤器2—4aTl ，沿高效过滤器内边框及中间缓慢扫描，每块高效过滤器至少测试出5个点，观察显示数据。测试完毕后，将采样塑料管端口接到尘埃粒子计数器后麵板上进行tl检。然后关闭电源。
用尘埃粒子计数器测定百级洁净区高效过滤器结果

     半导体工业是极精密的工业，当我们把计算机拆开之后，在电路板上一颗颗小小的IC都有数百万颗甚至数千万颗的晶体管。为了让这些极小的晶体管妥善的工作，制造的过程必须在无尘室内进行，集成电路制造的工厂动辄需要数十亿、数百亿的投资，多因为需要一个无尘室。

　　 所谓的无尘室是一个人造的环境，里面含有的粒子远低于一般的环境，随着集成电路技术的快速成长，也增加了对制造环境（无尘室）洁静度的需求，在工业上即使粒子之尺寸小于1微米，也可能阻碍产品的运作或降低其寿命。

　　 由于奈米技术的兴起，造成半导体关键尺寸持续缩小，集成电路积集度不断的增加，尘粒更容易使芯片失效或可靠度恶化。例如当金属尘粒地落到金属导线时，就可能会使金属导线形成短路。又如果有酸性的离子化合物尘粒掉在金属导线上，可能将其腐蚀，所以无尘室为集成电路制造不可或缺的要素。

　　 依据美国联邦政府颁布的标准【Federal Standard （FS） 209E, 1992】，可将无尘室分为六级。分别是1级、10级、100级、1000级、10000级、100000级，如果无尘室的等级只用尘粒数目来叙述，则可假设尘粒的尺寸为0.5?m，例如，1级、10级、100级无尘室最大尘粒数目分别小于或等于1颗、10颗、100颗，如果尘粒尺寸不是0.5?m，无尘室等级应以在一特定尘粒尺寸的级数来表示。例如：10级在0.2?m（尘粒尺寸在0.2?m或更大下，密度不大于75颗/立方英?），1级在0.1?m（尘粒尺寸在0.1?m或更大下，密度不大于35颗/立方英）。而集成电路制造所需的无尘室之洁净度必须优于1000级。

　　 为保持无尘室的洁净度，进出的人员有一定的穿著规定；10000与100000级，必须穿著长袍无尘衣、无尘鞋、带帽子与面罩；1000级（含）以上，需穿著特殊的洁净连身衣、无尘鞋将全身裹住，并带上手套和面罩，下表为无尘室清洁度的

　　 定义：
　　 尘粒数／立方英
　　 级数 0.1μm 0.2μm 0.3μm 0.4μm 0.5μm
　　　　　 1 35 7.5 3 1 N/A
　　　　　 10 350 75 30 10 N/A
　　　　　 100 N/A 750 300 100 N/A
　　　　　 1000 N/A N/A N/A 1000 7
　　　　　 10000 N/A N/A N/A 10000 70
　　　　　 100000 N/A N/A N/A 100000 700

余压阀可广泛用于净化车间或洁净室，用来维持室内与室外的正压差，使室内多余空气排出，阻止室外空气侵入。
其工作原理：当净化房内气压超过标准气压时，减压阀门自动打开，当低于标准气压时，阀门恢复关闭状态，从而起到平衡气压的作用。防止净化房间内因气压的挤压而引起的噪音及可能性的爆裂。余压阀的种类有很多，不同的应用有细微的差别。
余压阀特点
1．具有关闭紧密、反应灵敏、调节方便、外形美观、不耗能源等优点。
2. 安裝形式爲壁挂式，牆壁厚度在30~50mm內可任意調節。
3．重錘位置可根據風量、壓差要求進行調節。
4．表面烤漆或静电喷塑处理（喷塑颜色一般为白色，也可由用户指定）。若有其他要求订货中应作说?明，可根据用户的需要，制造各种不同的规格。一般要和压差表一块使用。可根据尺寸大小订作。
5．为了防止无尘室受到污染，室内必须保持正压，如果无尘室内压力过高，造成门扇不易开关，因而使用泄压风门来保持洁净室内之微正压。通过泄压风门的风量一般在100-1200m3/h之间，维持压差在5-40Pa之间。
余压阀作用
◇.维持空调房间的正压；
◇关闭紧密、反应灵敏；
◇正压值调节方便，不耗能源

     净化工作台电源多采用三相四线制，其中有一零线，连通机器外壳，应接牢在地线上，另外三线都是相线，工作电压是３８０Ｖ。三线接入电路中有一定的顺序，如线头接错了，风机会反转，这时声音正常或稍不正常，净化工作台正面无风可用酒精灯火焰观察动静，不宜久试 ，应及时切断电源，只要将其中任何两相的线头交换一下位置再接上，就可解决。三相线如只接入两相，或三相中有一相接触不良，则机器声音很不正常，应立即切断电源仔细检修，否则会烧毁电机。这些常识应在开始使用净化工作台时就向工作人员讲解清楚，免除不应造成的事故与损失。

     净化工作台进风口在背面或正面的下方，金属网罩内有一普通泡沫塑料片或无纺布，用以阻拦大颗粒尘埃，应常检查、拆洗，如发现泡沫塑料老化，要及时更换。除进风口以外，如有漏气孔隙，应当堵严，如贴胶布，塞棉花，贴胶水纸等。工作台正面的金属网罩内是超级滤清器，超级滤清器也可更换，如因使用年久，尘粒堵塞，风速减小，不能保证无菌操作时，则可换上新的。

    净化工作台使用寿命的长短与空气的洁净程度有关。在温带地区净化工作台可在一般实验室使用，然而在热带或亚热带地区，由于大气中含有高量的花粉，或多粉尘的地区，净化工作台则宜放在较好的有双道门的室内使用。任何情况下都不应将净化工作台的进风罩对着开敞的门或窗，以免影响滤清器的使用寿命。

    无菌室应定期用７０％酒精或０．５％苯酚喷雾降尘和消毒，用２％新洁尔灭抹拭台面和用具７０％酒精也可 ，用福尔马林４０％甲醛 加少量高锰酸钾定期密闭熏蒸，配合紫外线灭菌灯每次开启１５分钟以上 等等消毒灭菌手段，以使无菌室经常保持高度的无菌状态。接种箱内部也应装有紫外线灯，使用前开灯１５分钟以上照射灭菌，但凡是照射不到之处仍是有菌的。在紫外线灯开启时间较长时，可激发空气中的氧分子缔合成臭氧分子，这种气体成分有很强的杀菌作用，可以对紫外线没有直接照到的角落产生灭菌效果。由于臭氧有碍健康，在进入操作之前应先关掉紫外线灯，关后十多分钟即可入内。

   在净化工作台上亦可吊装紫外线灯，但应装在照明灯罩之外，并错开照明灯平行排列，这样在工作时不妨碍照明。若将紫外线灯装入照明灯罩玻璃板 里面，这是毫无用处的，因为紫外线不能穿透玻璃，它的灯管是石英玻璃，而不是硅酸盐玻璃制成的。

     接种室内力求简洁，凡与本室工作无直接关系的物品一律不能放入，以利保持无菌状态。接种室内的空气与外界空气应隔绝，预留的通气孔道应尽量密闭。通气孔道可设上下气窗，气窗面积宜稍大，需覆上４层纱布作简单滤尘。在一天工作之后，可开窗充分换气，然后再予以密闭。总之，既要清洁无尘无菌，又要空气新鲜，适宜工作。覆在通气窗上的纱布应经常换洗。但是上述种种措施只是理想的设计方案，往往不易全面做到，其实只要严格无菌操作手续，在门窗敞开的室内，有净化工作台的保护，接种的污染率仍可控制在生产上可以容忍的水平。

     由于项目实施过程中主客观条件的变化是不变则是相对的在项目进展过程中平衡是暂时的不平衡则是永恒的，因此在项目实施过程中必须随着情况的变化进行项目目标的动态控制。

     在项目实施的过程中定期地进行项目目标的计划值和实际值的比较，当发现项目目标偏离应进及时采纠偏措施，同时，为大程度地避免项目目标偏离的发生，积极采取主动控制措施，即事前分析可能导致项目目标偏离的各种影响因素，并针对这些因素采取有效的预防措施。

1. 净化工程安装施工进度目标的逐层分解
1) 净化工程安装施工进度目标的逐层分解是从净化工程安装施工开始前和在净化工程安装施工过程中，逐步地由宏观到微观，由粗到细编制浓度不同的进度计划过程。

2) 在净化工程安装施工过程中对净化工程安装施工进度目标进行动态跟踪和控制
①按照进度控制的要求，收集净化工程安装施工进度实际值。
②定期对净化工程安装施工进度的计划值和实际值进行比较。根据本项目特点，进度的控制周期可定为一旬或半月。比较净化工程安装施工进度的计划值和实际值时应注意,其对应的工程内容应一致,如以里程碑事件的进度目标值或再细化的进度目标值作为进度的计划值,则进度的实际值是相对于里程碑事件或再细化的分项工作的实际进度。
进度的计划值和实际值的比较应是定量的数据比较，比较的成果是进度跟踪和控制报告如编制进度控制的旬、月、季、半年和年度报告等。
③通过净化工程安装施工进度计划值和实际值的比较,如发现进度的偏差,则必须采用相应的纠偏措施进行纠偏.
3)如有必要(即发现原定的净化工程安装施工进度目标不合理,或原定的净化工程安装施工进度目标无法实现等),则调整净化工程安装施工进度目标.
(1)净化工程安装施工成本目标的逐层分解，通过编制净化工程安装施工成本规划，分析和论证净化工程安装施工成本目标实现的可能性，并对净化工程安装施工成本目标进行分解。
(2)在净化工程安装施工过程中对净化工程安装施工成本目标进行动态跟踪和控制
①按照成本控制的要求，收集净化工程安装施工成本的实际值。

②定期对净化工程安装施工成本的计划值和实际值进行比较。
根据本项目特点，进度的控制周期可定为一旬或半月。
净化工程安装施工成本的计划值和实际值的比较包括:
净化工程合同价与投标价中的相应成本项的比较;
净化工程合同价与净化工程安装施工成本规划中的相应成本项的比较;
工程成本规划与实际净化工程安装施工成本中相应成本项的比较;
净化工程合同价与实际净化工程安装施工成本中相应成本项的比较;
净化工程合同价与工程款支付的相应成本项的比较.
③通过净化工程安装施工成本计划值和实际值的比较，如发现成本偏差，则必须采取相应的纠偏措施进行纠偏。